加热单元及其制造方法

摘要

一种加热单元，其包括具有主表面的AlN基板，该主表面上设有条状发热电阻。基板的主表面上形成有发热电阻的保护层。保护层包括覆盖发热电阻的第一覆盖层和覆盖第一覆盖层的第二覆盖层。第一覆盖层由结晶或半结晶玻璃制成，该结晶或半结晶玻璃的结晶温度比该玻璃的玻璃软化点高至少50℃。第二覆盖层由非结晶玻璃制成。

主权项

一种加热单元，其特征在于，包括：包括用作加热面的主表面和后表面的氮化铝基板；设置在所述氮化铝基板的所述后表面上的条状的发热电阻；和发热电阻的保护层；其中，所述的保护层包括覆盖所述发热电阻的第一覆盖层和覆盖所述第一覆盖层的第二覆盖层，其中所述的第一覆盖层由结晶或半结晶玻璃制成，所述结晶或半结晶玻璃的结晶温度比玻璃软化点高50℃～70℃，所述的第二覆盖层由非结晶玻璃制成。