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发明名称 Thin film formation apparatus and thin film formation method employing the apparatus
摘要
申请公布号 EP1420081(B1) 申请公布日期 2010.12.15
申请号 EP20030022925 申请日期 2003.10.09
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 FUKUOKA, YUSUKE;FUJIOKA, YASUSHI;KISHIMOTO, KATSUSHI;FUKUDA, HIROYUKI;NOMOTO, KATSUHIKO
分类号 C23C16/52;C23C16/509;H01J37/32 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
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