发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM REINIGEN EINES GESÄGTEN WAFERBLOCKS
摘要
申请公布号 AT488345(T) 申请公布日期 2010.12.15
申请号 AT20060829352T 申请日期 2006.12.06
申请人 STANGL SEMICONDUCTOR EQUIPMENT AG 发明人 STANGL, WOLFGANG;STANGL, HANS-JUERGEN
分类号 B28D5/00 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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