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经营范围
发明名称
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM REINIGEN EINES GESÄGTEN WAFERBLOCKS
摘要
申请公布号
AT488345(T)
申请公布日期
2010.12.15
申请号
AT20060829352T
申请日期
2006.12.06
申请人
STANGL SEMICONDUCTOR EQUIPMENT AG
发明人
STANGL, WOLFGANG;STANGL, HANS-JUERGEN
分类号
B28D5/00
主分类号
B28D5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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