发明名称 METHOD FOR FORMING NANO MATERIAL
摘要
申请公布号 KR101001150(B1) 申请公布日期 2010.12.15
申请号 KR20080040689 申请日期 2008.04.30
申请人 发明人
分类号 B82B3/00;H01L21/20 主分类号 B82B3/00
代理机构 代理人
主权项
地址