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发明名称 VERFAHREN ZUR MONTAGE VON MINDESTENS ZWEI PLATTEN UND VERWENDUNG DIESES VERFAHRENS ZUR HERSTELLUNG EINER IONENSPUTTERANORDNUNG
摘要
申请公布号 AT488613(T) 申请公布日期 2010.12.15
申请号 AT20080775661T 申请日期 2008.03.03
申请人 H.E.F. 发明人 MARTIN, MICHEL;MAURIN-PERRIER, PHILIPPE;HEAU, CHRISTOPHE;BLANDENET, OLIVIER
分类号 C23C14/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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