颗粒物质到蒸发源的输送

摘要

一种将颗粒物质蒸发并将其在表面上冷凝以形成膜层的方法，其在第一容器内提供了一些第一颗粒物质并在与第一容器相隔开的第二容器内提供了一些第二颗粒物质，第一容器和第二容器分别具有第一开口和第二开口。第一颗粒物质通过第一容器内的第一开口传送到歧管中并在歧管内蒸发。第二颗粒物质通过第二容器内的第二开口传送到歧管中并在歧管内蒸发，第一蒸发的颗粒物质和第二蒸发的颗粒物质借此进行混合。所混合的蒸发物质从歧管输送到表面上以形成膜层。

主权项

一种将颗粒物质蒸发并将其在基底表面上冷凝以形成层的方法，包括：(a)在第一容器内提供一些第一颗粒物质并在与所述第一容器相隔开的第二容器内提供一些第二颗粒物质，所述第一容器和第二容器分别具有第一开口和第二开口；(b)将所述第一颗粒物质通过所述第一容器内的所述第一开口传送到第一螺旋推进器，其中该螺旋推进器进入歧管内，并旋转所述第一螺旋推进器的至少一部分，以便沿着第一进给通道、不使用载体，将所述第一颗粒物质传送到以邻近歧管壁的第一加热元件为特征的第一蒸发区中，其中所述第一颗粒物质在所述歧管内进行蒸发；(c)将所述第二颗粒物质通过所述第二容器内的所述第二开口传送到第二螺旋推进器，其中该螺旋推进器进入歧管内，并旋转所述第二螺旋推进器的至少一部分，以便沿着第二进给通道、不使用载体，将所述第二颗粒物质传送到以邻近歧管壁的第二加热元件为特征的第二蒸发区中，其中所述第二颗粒物质在所述歧管中进行蒸发，第一蒸发的颗粒物质和第二蒸发的颗粒物质借此进行混合；以及(d)将所混合的蒸发物质从所述歧管输送到所述基底表面以形成所述层。