采用大马士革工艺制备金属栅极中接触孔的方法

摘要

本发明公开了一种采用大马士革工艺制备金属栅极中接触孔的方法，其采用金属栅极取代传统工艺中的多晶硅栅极，且通过两次光刻和刻蚀，以及湿法可显影的填充材料实现了采用大马士革工艺制备金属栅极中的接触孔和金属连线，简化了制备流程。

主权项

一种采用大马士革工艺制备金属栅极中接触孔的方法，在硅片上完成金属栅极制备之后，其特征在于，包括如下步骤：(1)制备侧墙之后进行源漏离子注入形成源漏区，然后在源漏区硅表面上形成金属硅化物；(2)在硅片上淀积第一介质层，至覆盖金属栅极台阶；(3)采用化学机械研磨法研磨第一介质层材料至金属栅极上表面，后在第一介质层上淀积一层第二介质层；(4)接着在所述第二介质层上淀积第三介质层；(5)进行光刻工艺曝出源漏极接触孔的位置，之后依次刻蚀第三介质层、第二介质层和第一介质层至金属硅化物表面，形成源漏极接触孔，之后去除光刻胶并清洗硅片；(6)用湿法可显影的填充材料涂覆硅片以填充步骤五中刻蚀出的接触孔；(7)用显影液显影步骤6中填充后的硅片，去除第三介质层表面的填充材料形成平整的硅片表面；(8)进行第二次光刻曝出栅极接触孔的位置以及在所述源漏极接触孔上的金属线位置，依次刻蚀第三介质层和第二介质层，至第一介质层表面，刻蚀出金属线区域和栅极接触孔；(9)去除硅片上的光刻胶和源漏极接触孔内的湿法可显影材料，后用常规工艺清洗硅片；(10)淀积互连金属，填充所刻蚀出的金属线区域、栅极接触孔和源 漏极接触孔，后采用化学机械研磨法平整化去除高于第三介质层上的互连金属。