发明名称 衬底提升组件及包含该衬底提升组件的衬底处理设备
摘要 本发明涉及一种衬底提升组件以及一种衬底处理设备,其中衬底提升组件用于将一衬底举离一衬底支撑件及运送该衬底,该提升组件包含:(a)一箍状物,其大小可配合于该衬底支撑件的一周缘;及(b)安装在该箍状物上的一对拱形鳍状物,每个拱形鳍状物具有一对相对的末端,其具有向内辐射状延伸的突出部,每个突出部具有一突起的突出物以升举一衬底,以使该衬底实质上仅接触到该突起的突出物,从而在使用该对鳍状物以从该衬底支撑件升举该衬底时,可以使与该突出部的接触最小。
申请公布号 CN101383317B 申请公布日期 2010.12.15
申请号 CN200810126914.7 申请日期 2005.02.23
申请人 应用材料股份有限公司 发明人 维克·D·帕克海;马修·利奥波德;蒂莫西·罗南;托德·W·马丁;爱德华·黄;尼汀·库拉纳;徐松文;理查德·费伊;克里斯托弗·哈格蒂;迈克尔·赖斯;达里尔·安杰洛;库尔特·J·阿曼;马修·C·蔡;史蒂夫·森索尼
分类号 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I 主分类号 H01L21/687(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 徐金国;梁挥
主权项 一种衬底提升组件,用于将一衬底举离一衬底支撑件及运送该衬底,该提升组件包含:(a)一箍状物,其大小配合于该衬底支撑件的一周缘;及(b)安装在该箍状物上的一第一对拱形鳍状物,每个拱形鳍状物具有一对相对的末端,其具有向内辐射状延伸的突出部,每个突出部具有一突起的突出物以升举一衬底,以使该衬底仅接触到该突起的突出物,从而在使用该第一对鳍状物以从该衬底支撑件升举该衬底时,可以使该衬底与该突出部的接触最小。
地址 美国加利福尼亚州