投影光学系统、曝光装置及方法、光罩及显示器的制造方法

摘要

本发明的曝光装置可一边使第1物体M及第2物体P沿着扫描方向而移动，且一边于第2物体上进行投影曝光，该曝光装置包括第1投影光学系统PL10与第2投影光学系统PL11，并且包括第1平台MST；第1投影光学系统PL10在上述第2物体上的部分区域即第1区域上形成上述第1物体上的一部分的放大像；第2投影光学系统PL11在上述第2物体上的不同于上述一部分的区域的第2区域上形成上述第1物体上的不同于上述一部分的部分的放大像；上述第1平台MST保持上述第1物体，并且使上述第1物体的上述一部分及上述不同部分中的至少一方能够沿着上述非扫描方向而移动；上述第1区域及上述第2区域沿着与上述扫描方向相交的非扫描方向以特定的间隔而排列着。

主权项

一种曝光装置，一边使第1物体及第2物体沿着扫描方向而移动，且一边把上述第1物体的像曝光于上述第2物体上，该曝光装置的特征在于，包括：第1投影光学系统及第2投影光学系统，在与前述扫描方向相交的非扫描方向以规定间隔配置，且各自具有放大倍率；第1平台，保持上述第1物体，上述第1物体形成有在前述非扫描方向以上述规定间隔设置的第1图案区域及第2图案区域，并形成有在前述第1图案区域与前述第2图案区域之间的第3图案区域，且上述第1平台能够沿着上述扫描方向及上述非扫描方向而移动；第2平台，保持上述第2物体，并能够沿着上述扫描方向及上述非扫描方向而移动；以及控制部，控制上述第1平台与上述第2平台的移动，且上述控制部进行下述的控制：使上述第1投影光学系统把上述第1图案区域的放大像投影到上述第2物体的第1区域，并使上述第2投影光学系统把上述第2图案区域的放大像沿着上述非扫描方向投影到与上述第2物体的上述第1区域相距上述规定间隔的第2区域，以此方式来控制上述第1平台及上述第2平台的移动；使上述第1投影光学系统或上述第2投影光学系统把上述第3图案区域的放大像，投影到上述第2物体的上述第1区域与上述第2区域之间的第3区域，以此方式来控制上述第1平台及上述第2平台移动。