发明名称 VERFAHREN ZUR ERHÖHUNG DER UMWANDLUNGSEFFIZIENZ EINER EUV- UND/ODER WEICHEN RÖNTGENSTRAHLENLAMPE UND ENTSPRECHENDES GERÄT
摘要
申请公布号 AT489839(T) 申请公布日期 2010.12.15
申请号 AT20070735799T 申请日期 2007.05.08
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 JONKERS, JEROEN;VAUDREVANGE, DOMINIK
分类号 H05G2/00 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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