发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DÜNNER SCHICHTEN, DIE MIKROKOMPONENTEN ENTHALTEN
摘要
申请公布号 AT491225(T) 申请公布日期 2010.12.15
申请号 AT20020785528T 申请日期 2002.10.08
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES;S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 ASPAR, BERNARD;LAGAHE, CHRYSTELLE;GHYSELEN, BRUNO
分类号 H01L21/265;H01L21/762;H01L21/02;H01L27/12 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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