轻且热性能稳定的坐标定位仪的度量仪器及其制造方法

摘要

一种度量仪器，例如探针、探头、触针或者触针支臂，用于安装在坐标定位仪上。所述度量仪器至少部分地由至少一个具有较低热膨胀系数的热性能稳定的金属材料板制成，折叠所述至少一个金属材料板，从而形成三维结构。所述至少一个热性能稳定的材料板用在所述度量仪器的度量回路中。以这种方式，可以构造出轻且热性能稳定的度量仪器。

主权项

一种安装在坐标定位仪的支臂上的度量仪器，所述度量仪器至少部分地由至少一个金属材料板制成，所述金属材料的热膨胀系数≤15.0ppm/℃，折叠所述至少一个金属材料板以便形成三维结构，所述至少一个金属材料板用在所述度量仪器的度量回路中，所述度量回路是指从表面检测设备通过所述坐标定位仪到达安装工件的底座的路径。