| 发明名称 | 氧化锌类靶 | ||
| 摘要 | 本发明的课题在于提供一种耐环境性优异的氧化锌类靶。所述氧化锌类靶以氧化锌为主要成分，含有钛(Ti)和镓(Ga)两种元素，两元素含量为钛1.1at％以上或镓4.5at％以上的范围。 | ||
| 申请公布号 | CN101914754A | 申请公布日期 | 2010.12.15 |
| 申请号 | CN200910258492.3 | 申请日期 | 2009.09.17 |
| 申请人 | 三井金属矿业株式会社 | 发明人 | 高桥诚一郎;森内诚治;宫下德彦;池田真 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 李帆 |
| 主权项 | 一种氧化锌类靶，其特征在于，具有氧化物烧结体，该氧化物烧结体以氧化锌为主要成分、含有钛(Ti)和镓(Ga)两种元素、两种元素的含量为钛1.1at％以上或镓4.5at％以上的范围。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||