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发明名称 REINIGUNGSMITTEL, VERFAHREN ZUR REINIGUNG VON HALBLEITERSUBSTRAT SOWIE VERFAHREN ZUR AUSBILDUNG DER LEITUNGSBAHNEN AUF HALBLEITERSUBSTRAT
摘要
申请公布号 AT488569(T) 申请公布日期 2010.12.15
申请号 AT20040746420T 申请日期 2004.06.18
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.;INTEL CORPORATION 发明人 YOKOI, SHIGERU;WAKIYA, KAZUMASA;HARAGUCHI, TAKAYUKI;HUSSEIN, MAKAREM;JONG, LANA;CLARK, SHAN
分类号 C11D11/00;C11D7/06;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/311 主分类号 C11D11/00
代理机构 代理人
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