光栅耦合器及其封装结构

摘要

本发明公开了一种高性能、低成本、易封装的光栅耦合器，包括反射层、隔离层、波导层、下包层、衬底层，所述下包层、波导层、隔离层、反射层依次设置于衬底层上，波导层设置有光栅，衬底层设置有光纤对准槽。本发明所提供的光栅耦合器的封装结构为纳米波导器件提供了一种高效的封装方案，降低了工艺难度，提高了大规模封装集成的可行性。

主权项

一种光栅耦合器，其包括隔离层、波导层、下包层和衬底层，所述下包层、波导层、隔离层依次层叠设置于衬底层的一表面，所述波导层包括一光栅与一波导，其特征在于，所述光栅耦合器进一步包括一反射层，所述反射层设置于隔离层远离所述衬底层的一侧，外界光信号通过所述衬底层输入至所述光栅耦合器。