一种陶瓷绝缘膜导热基板及其制作方法

摘要

本发明涉及电子及光电子封装技术领域，公开了一种陶瓷绝缘膜导热基板及其制作方法，由于采用对金属基板表面进行清洁和粗糙化处理，使金属基板表面形成凹凸不平的清洁表面；采用等离子喷镀或超声喷涂方法在金属基板表面喷涂一层陶瓷绝缘膜层，在经过研磨抛光处理的陶瓷绝缘膜层表面，采用丝网印刷工艺印制出所需要的金属电极层，其工艺简单，制作成本低，散热效果好，并且不会造成微孔导通现象。

主权项

一种陶瓷绝缘膜导热基板的制作方法，其特征在于，包括步骤：A、对金属基板表面进行清洁和粗糙化处理，使金属基板表面形成凹凸不平的清洁表面；B、采用等离子喷镀或超声喷涂方法在金属基板表面喷涂一层陶瓷绝缘膜层；C、对所述陶瓷绝缘膜层表面进行研磨抛光处理；D、在经过研磨抛光处理的陶瓷绝缘膜层表面，采用丝网印刷工艺印制出所需要的金属电极层。