用于前段工艺制造的原地干洗腔

摘要

本发明提供了一种用于从衬底表面上去除天然氧化物的方法和装置。一方面，该腔包括一个腔体和一个至少部分布置在腔体内并适合在其上支撑衬底的支撑装置。该支撑装置包括至少部分在其中形成并能冷却衬底的一个或多个流体通道。该腔进一步包括布置在腔体上表面的盖装置。该盖装置包括在其间限定了等离子空腔的第一电极和第二电极，其中第二电极适合连接地加热衬底。

主权项

一种用于从衬底表面去除天然氧化物的方法，包括：在一个真空腔内支撑所述衬底表面；在所述真空腔内由气体混合物产生反应性组分；在所述真空腔内冷却所述衬底表面；将所述反应性组分引到被冷却的衬底表面上，以与其上的天然氧化物反应并在所述衬底表面上形成薄膜；和在所述真空腔内加热所述衬底表面以蒸发所述薄膜。