放射线敏感性组合物、叠层体及其制造方法和电子部件

摘要

本发明提供一种放射线敏感性组合物、在基板上形成使用该放射线敏感性组合物而形成的树脂膜的叠层体、以及该叠层体的制造方法，所述放射线敏感性组合物的电特性优异、不引起显影时的膜厚度的减少或显影膜的剥离、在高温加热后的形状保持性和透明性高、并且耐药品性优异。所述放射线敏感性组合物包含交联剂和放射线敏感性化合物，所述交联剂含有：含有与环氧基团反应的极性基团的聚合物、在主链结构中具有脂环结构并具有3个以上环氧基团的多官能环氧化合物。所述叠层体包括：基板、和使用该交联性树脂组合物而形成的树脂膜。

主权项

一种放射线敏感性组合物，其中包含聚合物、交联剂和放射线敏感性化合物，所述聚合物是具有包含质子性极性基团的环状烯烃单元和包含N 取代酰亚胺基的环状烯烃单元的环状烯烃类聚合物，所述交联剂含有：在主链结构中具有脂环结构并具有3个以上环氧基团的多官能环氧化合物。