检测图案误差的方法和装置

摘要

提供了用于与更精确的图案和作为结果的器件的制造和生产相关的质量控制和检测误差的方法和装置。所述图案或器件可以包括在显示应用中使用的图案，所述显示应用例如TFT-LCD、OLED、SED、PDP、FED、LTPS-LCD以及使用至少部分循环的图案的类似显示技术。

主权项

一种用于检测包括至少部分循环的图案的工件上的缺陷的方法，所述方法的特征在于：获取所述循环的图案的至少一部分的至少第一图像；通过在虚拟网格中将所述第一图像相对于其原始位置而位移，产生第二图像；通过对所述第一图像和所述第二图像执行数学或逻辑运算来创建差别图像，以创建第三图像；以及分析所述第三图像来检测存在于所述第一图像中的缺陷。