半导体晶片的保护膜的形成装置

摘要

本发明提供半导体晶片的保护膜的形成装置，其在半导体晶片的表面以均匀的厚度形成紫外线固化树脂的保护膜，该半导体晶片的保护膜的形成装置包括：机台和定盘，其具有上下贯通且能够通过紫外线的开口；光反射体，其安装在上述定盘的下部并将紫外线向上方反射；紫外线照射单元，其安装在该光反射体的下部并将紫外线向上方照射；升降部件，其能够升降地配置在上述定盘的上方位置；紫外线透过性的受压部件，其在上述定盘的上表面以覆盖上述开口的方式被安装，且具有能够载置上述半导体晶片的平坦状的上表面；加压部件，其位于上述升降部件的下侧，经由角度调整单元并且与上述受压部件相对地安装于该升降部件，且具有平坦状的下表面；以及电动气缸，其使上述升降部件升降。

主权项

一种半导体晶片的保护膜的形成装置，其在半导体晶片的表面形成由紫外线固化树脂形成的保护膜，该半导体晶片的保护膜的形成装置的特征在于，包括：机台和定盘，其具有上下贯通且能够通过紫外线的开口；光反射体，其安装在所述定盘的下部并将紫外线向上方反射；紫外线照射单元，其安装在该光反射体的下部并将紫外线向上方照射；升降部件，其能够升降地配置在所述定盘的上方位置；紫外线透过性的受压部件，其在所述定盘的上表面以覆盖所述开口的方式被安装，且具有能够载置所述半导体晶片的平坦状的上表面；加压部件，其位于所述升降部件的下侧，经由角度调整单元并且与所述受压部件相对地安装于该升降部件，且具有平坦状的下表面；以及电动气缸，其使所述升降部件升降。