| 发明名称 | 用于存在性检测的薄膜检测器 | ||
| 摘要 | 提供了一种换能器(800)，其中隔膜(830)在前衬底(615)上形成；并且压电层(820)在隔膜(830)上的活性部分(821)和位于活性部分(821)邻近的外围部分处形成。此外，提供了后衬底结构，其具有位于邻近活性部分(821)的外围部分处的支撑物(822，824)。支撑物(822，824)的高度(826)大于图案化压电层和图案化导电层的组合高度(828)。可以连接许多换能器以形成阵列，其中可以提供控制器，其用于控制该阵列(例如操纵该阵列的束、处理该阵列接收的信号)，用于例如存在性或运动检测和/或成像。 | ||
| 申请公布号 | CN101919079A | 申请公布日期 | 2010.12.15 |
| 申请号 | CN200880023261.8 | 申请日期 | 2008.06.30 |
| 申请人 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 发明人 | M·克利;K·赖曼;B·K·斯里达兰奈尔;R·P·A·德尔诺伊;H·M·J·布茨;C·A·本德斯;O·武尼克;D·里夫曼;P·德克森;R·德克;H·范埃希;M·德威尔德;R·莫西奥克;C·范希施;W·F·帕斯维尔;E·J·克尼贝;R·A·H·布里恩 |
| 分类号 | H01L41/22(2006.01)I;B06B1/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L41/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 刘鹏;谭祐祥 |
| 主权项 | 一种形成换能器(800)的方法，包括以下动作：在前衬底(615)上形成隔膜(830)；在隔膜(830)上形成压电层(820)；在压电层(820)的活性部分(821)上形成包括第一和第二电极(840，845)的图案化导电层；以及形成具有位于活性部分(821)的相邻侧上的支撑物(822，824)的后衬底结构。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||