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发明名称 Konvergierendes mehrpoliges Ionenleitsystem zum Formen eines Ionenstrahls
摘要
申请公布号 DE102010003578(A1) 申请公布日期 2010.12.02
申请号 DE201010003578 申请日期 2010.04.01
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES INC. 发明人 UGAROV, MICHAEL;BERTSCH, JAMES
分类号 H01J49/06;G21K1/08;H01J49/04;H01J49/42 主分类号 H01J49/06
代理机构 代理人
主权项
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