发明名称 Positionssensor
摘要
申请公布号 DE502004011801(D1) 申请公布日期 2010.12.02
申请号 DE200450011801T 申请日期 2004.08.12
申请人 ASM AUTOMATION SENSORIK MESTECHNIK GMBH 发明人 STEINICH, KLAUS MANFRED
分类号 G01D5/48 主分类号 G01D5/48
代理机构 代理人
主权项
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