| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur topographischen Messung eines Objekts (1). Um die topographische Messung des Objekts (1) zu verbessern, insbesondere zu beschleunigen, weist die erfindungsgemäße Vorrichtung mindestens ein Projektionsmittel (2) zur Projektion einer Sequenz aus mehreren Messmustern (3) auf das Objekt (1) auf, wobei ein Messmuster (3) jeweils ein mit einer Wertesequenz moduliertes periodisch moduliertes Phasenschiebemuster beinhaltet, wobei die Phasenschiebemuster eine Phasenverschiebung gegeneinander aufweisen, wobei die Wertesequenzen ortsfest gegeneinander sind, und mit Mitteln zur Erfassung (4) und mit Mitteln zur Auswertung (5) der auf das Objekt (1) projizierten Messmuster (3), wobei die Phasenverschiebung der Phasenschiebemuster und die Modulation mit den Wertesequenzen derart gewählt sind, dass Anteile der Phasenschiebemuster und der Wertesequenzen aus den projizierten Messmustern (3) unabhängig voneinander auswertbar sind.</p> |
