发明名称 Halbleiterbauteil und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE102005014932(B4) 申请公布日期 2010.12.02
申请号 DE20051014932 申请日期 2005.04.01
申请人 FUJI ELECTRIC SYSTEMS CO. LTD. 发明人 MATSUI, TOSHIYUKI;HOSHI, YASUYUKI;KOBAYASHI, YASUYUKI;MIYASAKA, YASUSHI
分类号 H01L29/861;H01L29/868;H01L21/00;H01L21/265;H01L29/32;H01L29/78;H01L31/00;H01L31/0264;H01L31/105;H01L31/18 主分类号 H01L29/861
代理机构 代理人
主权项
地址