Polierkopf und Poliervorrichtung,申请号DE20071103710T-传众专利搜索

发明名称	Polierkopf und Poliervorrichtung
摘要
申请公布号	DE112007003710(T5)	申请公布日期	2010.12.02
申请号	DE20071103710T	申请日期	2007.11.20
申请人	SHIN-ETSU HANDOTAI CO. LTD.;FUJIKOSHI MACHINERY CORP.	发明人	MASUMURA, HISASHI;KITAGAWA, KOJI;MORITA, KOUJI;KISHIDA, HIROMI;ARAKAWA, SATORU
分类号	B24B37/30;H01L21/304	主分类号	B24B37/30
代理机构		代理人
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