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发明名称 Toroidförmige Reaktivgasquelle mit niedrigem Feld
摘要
申请公布号 DE69841965(D1) 申请公布日期 2010.12.02
申请号 DE19986041965 申请日期 1998.06.23
申请人 MKS INSTRUMENTS INC. 发明人 SMITH, DONALD K.;CHEN, XING;HOLBER, WILLIAM;GEORGELIS, ERIC
分类号 H01J37/32;H05H1/46;H01J27/16;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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