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一种半导体用之玻璃载板，适用于被一静电吸盘吸附固定，并包含：一透明之玻璃板层；及一透明的静电吸附层，被覆于玻璃板层底面，并可被所述静电吸盘之静电力吸附固定。依据申请专利范围第1项所述之半导体用之玻璃载板，其中，该静电吸附层包括一被覆固定在玻璃板层底面之透明导电膜，及一被覆于该透明导电膜底面之透明绝缘膜。依据申请专利范围第2项所述之半导体用之玻璃载板，其中，该透明导电膜厚度范围介于0.01 μm~5 μm。依据申请专利范围第2或3项所述之半导体用之玻璃载板，其中，该透明绝缘膜厚度范围介于0.01 μm~5 μm。依据申请专利范围第4项所述之半导体用之玻璃载板，其中，透明导电膜是选自于铟锡氧化物、铟锌氧化物、氧化锌镓、氧化铝锌以及铟锡氧化物、铟锌氧化物、氧化锌镓与氧化铝锌之混合所构成的群体。依据申请专利范围第4项所述之半导体用之玻璃载板，其中，该透明绝缘膜是选自于氧化矽、氧化铝、过渡金属氧化物或此等一组合。依据申请专利范围第6项所述之半导体用之玻璃载板，其中，过渡金属氧化物是选自于氧化铬、氧化锆、氧化铌、氧化钽、氧化铪或此等一组合。依据申请专利范围第1项所述之半导体用之玻璃载板，其中，该静电吸附层是由金属氧化物半导体材料制成，其厚度范围介于0.01 μm~5 μm。依据申请专利范围第8项所述之半导体用之玻璃载板，其中，该静电吸附层是选自氧化锌、氧化锡、杂质掺入之氧化锌、杂质掺入之氧化锡或此等一组合。 |
