| 主权项 |
一种制造液晶显示器之曝光装置，包含：一穿越输送带，用于输送基板；一第一机械手臂，安置在该穿越输送带的基板装载面，用于接收涂布具有光阻蚀刻剂的基板，再将基板输送该穿越输送带；一软烤热板(SHP)，安置在该穿越输送带的基板装载卸除面，用于将基板的溶剂移除；一冷板，用于降低已移除掉溶剂的基板的温度；一缓冲器，具有分别设置的一基板装载面以及一基板卸除面以暂时储存已降低温度的基板；一第二机械手臂，安置在该穿越输送带、该软烤热板(SHP)、该冷板与该缓冲器的该基板装载面之间，用于装载与/或卸除基板；一温度控制单元，用于调节从该缓冲器卸除的基板的温度；一曝光单元；以及一第三机械手臂，安置在该缓冲器的基板卸除面、该温度控制单元与该曝光单元之间，用于装载与/或卸除基板，其中该第一机械手臂、该穿越输送带、该第二机械手臂与该缓冲器从水平方向来看系沿着一直线排列；该温度控制单元、该第三机械手臂与该曝光单元从水平方向来看系沿着一直线排列；该第三机械手臂与该缓冲器系排列在同一垂直线上；以及所述冷板与该第二机械手臂系排列在同一垂直线上。依据申请权利范围第1项所述制造液晶显示器之曝光装置，其中所述软烤热板(SHP)与该穿越输送带从水平方向来看系排列如两平行列。依据申请权利范围第1项所述制造液晶显示器之曝光装置，其中所述冷板与该第二机械手臂从水平方向来看系排列同一垂直线上，而该温度控制单元与该冷板系排列如两平行列。依据申请权利范围第1项所述制造液晶显示器之曝光装置，其中所述曝光装置进一步还包括和该缓冲器处于相对立位置且与该第三机械手臂处于同一垂直线上的序号机。一种制造液晶显示器之曝光装置，包含：一穿越输送带，用于输送基板；一第一机械手臂，安置在该穿越输送带的基板装载面，用于接收涂布具有光阻蚀刻剂的基板，再将基板输送该穿越输送带；一软烤热板(SHP)，安置在该穿越输送带的基板装载卸除面，用于将基板的溶剂移除；一冷板，用于降低已移除掉溶剂的基板的温度；一缓冲器，具有分别设置的一基板装载面以及一基板卸除面以暂时储存已降低温度的基板；一第二机械手臂，安置在该穿越输送带、该软烤热板(SHP)、该冷板与该缓冲器的该基板装载面之间，用于装载与/或卸除基板；一温度控制单元，用于调节从该缓冲器卸除的基板的温度；一曝光单元；以及一第三机械手臂，安置在该缓冲器的基板卸除面、该温度控制单元与该曝光单元之间，用于装载与/或卸除基板，其中所述第一机械手臂、该第二机械手臂与该冷板从水平方向来看系沿着一条线排列；该温度控制单元与该冷板系排列如两平行列；该缓冲器、该第三机械手臂与该曝光单元从水平方向来看系沿着一条线依序排列；以及该温度控制单元与该第三机械手臂系排列在同一垂直线上。依据申请权利范围第5项所述制造液晶显示器之曝光装置，其中所述缓冲器与该第二机械手臂系排列在同一垂直线上。依据申请权利范围第1项或第5项所述制造液晶显示器之曝光装置，其中所述缓冲器的基板装载面系垂直于该缓冲器的基板卸除面。依据申请权利范围第5项所述制造液晶显示器之曝光装置，其中所述软烤热板(SHP)与该穿越输送带从水平方向来看系排列如两平行列。 |
