| 主权项 |
一种固持单一晶圆用之容器，其包含：壳体部分，其具有顶部、底部、一对相对之侧边部、后部及由门框所界定的前开口，门框具有一对界定于其中的闭锁凹槽；壳体内的晶圆支撑器；以及门，其可接合于门框以密封地关闭该前开口，该门包含：底座，其界定门壳体；以及至少一门壳体上的可动闭锁机构，该闭锁机构包括凸轮，其具有一对自其侧向延伸的相对翼部，该凸轮可选择性地在第一支持位置与第二支持位置之间旋转地切换，其中，在第一支持位置处，翼部系完全位于门壳体内以使门与门框接合及解除接合，而在第二支持位置处，翼部系自门壳体向外侧向延伸以在门接合于门框时，能够接合于门框的闭锁凹槽内，闭锁机构更包括弹簧，其系设置以提供偏压力将闭锁机构推向第一及第二支持位置。如申请专利范围第1项之容器，其中，该闭锁机构更包括一对缓制动阻尼弹簧(soft-stop dampening springs)，其在第一及第二支持位置使凸轮减速。如申请专利范围第2项之容器，其中，该缓制动阻尼弹簧系沿着该凸轮之圆周而在相反方向延伸。如申请专利范围第3项之容器，其中，各缓制动阻尼弹簧具有相切弯曲端。如申请专利范围第2项之容器，其中，该缓制动阻尼弹簧系与该凸轮一体成型为单一部件。如申请专利范围第1项之容器，其中，该凸轮包含主体部分，其界定凹槽与浮动地收容于凹槽内的毂。如申请专利范围第1项之容器，其中，该凸轮包括沙漏形之钥匙狭槽以收容机器手臂致动钥匙。如申请专利范围第1项之容器，其中，各翼部包括倾斜部分以接合闭锁凹槽，该倾斜部分系被设置以在凸轮自第一支持位置旋转至第二支持位置时，拉引门使其与门框更紧密地接合。一种固持单一晶圆用之容器，其包含：壳体部分，其具有顶部、底部、一对相对之侧边部、后部及由门框所界定的前开口，门框具有一对界定于其中的闭锁凹槽；壳体内的晶圆支撑器；以及门，其可接合于门框以密封地关闭该前开口，该门包含：底座，其界定门壳体；以及至少一门壳体上的可动闭锁机构，该闭锁机构包括凸轮，其具有一对自其侧向延伸的相对翼部，该凸轮可选择性地在第一支持位置与第二支持位置之间旋转地切换，其中，在第一支持位置处，翼部系完全位于门壳体内以使门与门框接合及解除接合，而在第二支持位置处，翼部系自门壳体向外侧向延伸以在门接合于门框时，能够接合于门框的闭锁凹槽内，闭锁机构更包括偏压手段以将闭锁机构推向第一及第二支持位置。如申请专利范围第9项之容器，其中，该闭锁机构更包括在第一及第二支持位置使凸轮减速的手段。如申请专利范围第10项之容器，其中，该在第一及第二支持位置使凸轮减速的手段包含一对凸轮上的缓制动阻尼弹簧。如申请专利范围第11项之容器，其中，该缓制动阻尼弹簧系沿着该凸轮之圆周而在相反方向延伸。如申请专利范围第12项之容器，其中，各缓制动阻尼弹簧具有相切弯曲端。如申请专利范围第12项之容器，其中，该缓制动阻尼弹簧系与该凸轮一体成型为单一部件。如申请专利范围第10项之容器，其中，各翼部包括倾斜部分以接合闭锁凹槽，该倾斜部分系被设置以在凸轮自第一支持位置旋转至第二支持位置时，拉引门使其与门框更紧密地接合。一种晶圆与固持单一晶圆用之容器的组合，该容器包含：壳体部分，其具有顶部、底部、一对相对之侧边部、后部及由门框所界定的前开口，门框具有一对界定于其中的闭锁凹槽；壳体内的晶圆支撑器；以及门，其可接合于门框以密封地关闭该前开口，该门包含：底座，其界定门壳体；以及至少一门壳体上的可动闭锁机构，该闭锁机构包括凸轮，其具有一对自其侧向延伸的相对翼部，该凸轮可选择性地在第一支持位置与第二支持位置之间旋转地切换，其中，在第一支持位置处，翼部系完全位于门壳体内以使门与门框接合及解除接合，而在第二支持位置处，翼部系自门壳体向外侧向延伸以在门接合于门框时，能够接合于门框的闭锁凹槽内，闭锁机构更包括偏压手段以将闭锁机构推向第一及第二支持位置，以及拉引手段以在凸轮自第一支持位置旋转至第二支持位置时，拉引门使其与门框更紧密地接合。如申请专利范围第16项之组合，其中，该闭锁机构更包括在第一及第二支持位置使凸轮减速的手段。如申请专利范围第17项之组合，其中，该在第一及第二支持位置使凸轮减速的手段包含一对凸轮上的缓制动阻尼弹簧。如申请专利范围第18项之组合，其中，该缓制动阻尼弹簧系沿着该凸轮之圆周而在相反方向延伸。如申请专利范围第19项之组合，其中，各缓制动阻尼弹簧具有相切弯曲端。如申请专利范围第18项之组合，其中，该缓制动阻尼弹簧系与该凸轮一体成型为单一部件。如申请专利范围第16项之组合，其中，该在凸轮自第一支持位置旋转至第二支持位置时拉引门使其与门框更紧密地接合的手段包含各凸轮翼部上的倾斜部分。 |
