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一种加热装置，系以占有批式反应室之反应空间之复数加热器构成的复数加热器群组沿反应室外周反覆的方式而形成之反应室的加热装置，其特征在于：构成前述加热器群组之前述复数加热器分别作为温度调节部、电压施加线路、及将前述反应室加热之发热体，并包含有相互分离之一组第1及第2加热器单元，又，前述复数加热器之第1加热器单元之长度与第2加热器单元之长度总和皆相同，而前述复数加热器之前述第1加热器单元之长度并非固定，且前述复数加热器之第2加热器单元之长度亦非固定。如申请专利范围第1项之加热装置，其中前述复数第1加热器单元中长度相同之第1加热器单元共有前述温度调节部及前述电压施加线路，且前述复数第2加热器单元中长度相同之第2加热器单元共有前述温度调节部及前述电压施加线路。如申请专利范围第1项之加热装置，其中前述第1及第2加热器单元形成U字形。一种加热方法，系藉以占有批式反应室之反应空间之复数加热器构成之复数加热器群组沿反应室外周反覆的方式而形成，以加热反应室者，其特征在于：构成前述加热器群组之前述复数加热器分别作为温度调节部、电压施加线路、及将前述反应室加热之发热体，并包含有相互分离之一组第1及第2加热器单元，且前述复数加热器之第1加热器单元之长度与第2加热器单元之长度总和皆相同，而前述复数加热器之前述第1加热器单元之长度并非固定，且前述复数加热器之第2加热器单元之长度亦非固定，又，前述复数第1加热器单元中长度相同之第1加热器单元共有前述温度调节部及前述电压施加线路，且前述复数第2加热器单元中长度相同之第2加热器单元共有前述温度调节部及前述电压施加线路，藉此，各前述复数加热器可以藉由调节前述第1加热器单元及前述第2加热器单元之发热量，而可调节前述反应室之温度。 |
