发明名称 硅麦克风封装体
摘要 本发明公开一种硅麦克风封装体,包括:一整合型麦克风芯片,具有相对的一第一表面与一第二表面;一第一封盖部件,形成于该整合型麦克风芯片的该第一表面之上,并形成一第一腔室于其间;以及一第二封盖部件,形成于该整合型麦克风芯片的该第二表面之上,并形成一第二腔室于其间。
申请公布号 CN101902678A 申请公布日期 2010.12.01
申请号 CN201010193756.4 申请日期 2010.05.28
申请人 美商通用微机电系统公司 发明人 王云龙
分类号 H04R31/00(2006.01)I;H04R19/04(2006.01)I 主分类号 H04R31/00(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 陈小雯
主权项 一种硅麦克风封装体,包括:整合型麦克风芯片,具有相对的第一表面与第二表面;第一封盖部件,形成于该整合型麦克风芯片的该第一表面之上,并形成一第一腔室于其间;以及第二封盖部件,形成于该整合型麦克风芯片的该第二表面之上,并形成一第二腔室于其间。
地址 美国加利福尼亚州