| 发明名称 | 适于与外涂敷的光刻胶一起使用的涂料组合物 | ||
| 摘要 | 提供了能用水性碱显影剂显影(包括在外涂敷的光刻胶层的显影过程中的单一步骤)的有机涂料组合物，特别是减反射涂料组合物。优选的涂料组合物包括具有至少四个不同的官能团的四元聚合物。 | ||
| 申请公布号 | CN101900943A | 申请公布日期 | 2010.12.01 |
| 申请号 | CN201010119475.4 | 申请日期 | 2010.02.08 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | J·F·卡梅隆;J·W·宋;J·P·阿马拉;G·P·普罗科波维奇;D·A·瓦莱里;L·维克里克;W-S·S·黄;W·李;P·R·瓦拉纳斯;I·Y·波波瓦 |
| 分类号 | G03F7/09(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;C09D135/00(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;C08L35/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/09(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陈哲锋 |
| 主权项 | 一种涂敷的基材，所述基材包括：(a)包括四元聚合物的涂料组合物层，所述四元聚合物包括至少四种不同的官能团；和(b)位于所述涂料组合物层之上的光刻胶层，其中光刻胶的水性碱显影也显影底涂的所述涂料组合物层。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||