光器件和光器件制造方法以及光集成器件

摘要

在长度方向和宽度方向扩展的片状多模相干波导(MMI)中，设定多模相干波导的长度，使唯一模在长度方向相干，从而在信号光输入输出时减小耦合损耗。该多模相干波导在厚度方向具有最大折射率部，其具有的折射率分布使折射率随着离开该最大折射率部而减小。因此，可在多模相干波导的厚度方向抑制模色散，取得10Gb/s量级的高传输速率。

主权项

一种光器件，由信号光束连接在从外部输入的输入信号与要输出的输出信号之间，其特征在于，所述光器件包含光传输线，所述光传输线为片状，其具有以下的折射率分布：在所述片状光传输线的厚度方向的中心位置形成最大折射率部分，并且在厚度方向上随离开最大折射率部分的距离加大折射率减小，使相当于输入信号的信号光束作为入射光束在所述光传输线上进行入射；在所述光传输线内部，以在垂直于长度方向和厚度方向的宽度方向具有多个本征模的多模方式在垂直于厚度方向的长度方向上传送入射光束，并且由在长度方向相互干涉的多个本征模产生出射光束；使所述出射光束从光传输线出射，输出与出射光束对应的输出信号；所述光传输线由事先用氧或氧化物以规定的分布进行了扩散的聚硅烷制成，并且由所述聚硅烷固化时氧浓度或氧化物的浓度分布形成所述折射率分布。