| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING A DIELECTRIC FILM AND NOVEL PRECURSORS FOR IMPLEMENTING SAID METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1896629(B1) |
申请公布日期 |
2010.12.01 |
| 申请号 |
EP20060778689 |
申请日期 |
2006.06.21 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
DUSSARRAT, CHRISTIAN |
| 分类号 |
C23C16/32;C23C16/40;H01L21/314;H01L21/316 |
主分类号 |
C23C16/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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