一种纳米硅导陶瓷电热管元件及制作方法

摘要

一种纳米硅导陶瓷电热管元件及制作方法，它涉及一种半导体电热新材料。利用硅有低电阻率的特点，并在硅元素中按配比比例掺杂金属或非金属元素后，利用气相沉积法，经550℃～750℃的加热反应生成硅导化合物，使其沉积在陶瓷管(镁玻璃、搪瓷、玻璃等)载体内侧上获得沉积3-5微米厚导电发热膜层，微米厚导电发热膜层与陶瓷管成为一体，陶瓷管既是导电介质的载体，又是绝缘体；银浆导电膜及电板连接处是经750℃～800℃烧结而成，在银浆导电膜及电板连接处安装电板引线即成为纳米硅导陶瓷电热管元件。

主权项

一种纳米硅导陶瓷电热管元件及制作方法，它包含陶瓷管(1)，其特征在于陶瓷管(1)的内侧设置有微米厚导电发热膜层(2)，微米厚导电发热膜层2的两端设置有银浆导电膜及电板连接处(3)。