| 发明名称 | 盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物。一种以式(I-AA)表示的盐，其中Q<sup>1</sup>和Q<sup>2</sup>各自独立地表示氟原子或C1-C4全氟烷基，X<sup>1</sup>表示单键等，Y<sup>1</sup>表示C1-C36脂族烃基等，A<sup>1</sup>和A<sup>2</sup>各自独立地表示C1-C20脂族烃基等，Ar<sup>1</sup>表示可以具有一个或多个取代基的(m<sub>4</sub>+1)价C6-C20芳族烃基，B<sup>1</sup>表示单键等，m<sub>1</sub>和m<sub>2</sub>各自独立地表示0至2的整数，m<sub>3</sub>表示1至3的整数，条件是m<sub>1</sub>+m<sub>2</sub>+m<sub>3</sub>＝3，并且m<sub>4</sub>表示1至3的整数，以及一种光致抗蚀剂组合物，其含有以式(I-AA)表示的盐和树脂，所述树脂包含具有酸不稳定基团的结构单元，并且不溶或难溶于碱水溶液，但通过酸的作用变得可溶于碱水溶液。<img file="201010188312.1_AB_0.GIF" wi="383" he="80" /> | ||
| 申请公布号 | CN101899027A | 申请公布日期 | 2010.12.01 |
| 申请号 | CN201010188312.1 | 申请日期 | 2010.05.25 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 市川幸司;杉原昌子;增山达郎 |
| 分类号 | C07D307/33(2006.01)I;C07D307/00(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | C07D307/33(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 吴小明 |
| 主权项 | 1.一种以式(I-AA)表示的盐：<img file="FSA00000124319200011.GIF" wi="1624" he="317" />其中Q<sup>1</sup>和Q<sup>2</sup>各自独立地表示氟原子或C1-C4全氟烷基，X<sup>1</sup>表示单键或-(CH<sub>2</sub>)<sub>k</sub>-，并且-(CH<sub>2</sub>)<sub>k</sub>-中的一个或多个-CH<sub>2</sub>-可以被-O-或-CO-代替，并且-(CH<sub>2</sub>)<sub>k</sub>-中的一个或多个氢原子可以被C1-C4脂族烃基取代，并且k表示1至17的整数，Y<sup>1</sup>表示C1-C36脂族烃基，C3-C36脂环族烃基或C6-C36芳族烃基，并且所述脂族烃基，所述脂环族烃基和所述芳族烃基可以具有一个或多个不含氟原子的取代基，并且所述脂族烃基和所述脂环族烃基中的一个或多个-CH<sub>2</sub>-可以被-O-或-CO-代替，A<sup>1</sup>和A<sup>2</sup>各自独立地表示C1-C20脂族烃基，C3-C20脂环族烃基或C6-C20芳族烃基，或A<sup>1</sup>和A<sup>2</sup>彼此结合以形成C3-C20环，并且所述脂族烃基，所述脂环族烃基，所述芳族烃基和所述环中的一个或多个氢原子可以被羟基，C1-C12烷基，C1-C12烷氧基或C3-C36脂环族烃基取代，Ar<sup>1</sup>表示可以具有一个或多个取代基的(m<sub>4</sub>+1)价C6-C20芳族烃基，B<sup>1</sup>表示单键或C1-C6亚烷基，并且所述亚烷基中的一个或多个-CH<sub>2</sub>-可以被-O-或-CO-代替，B<sup>2</sup>表示不能通过酸的作用消除的C4-C18内酯环基团，并且所述内酯环基团中的一个或多个氢原子可以被氰基，C1-C20脂族烃基或C3-C20脂环族烃基取代，m<sub>1</sub>和m<sub>2</sub>各自独立地表示0至2的整数，m<sub>3</sub>表示1至3的整数，条件是m<sub>1</sub>+m<sub>2</sub>+m<sub>3</sub>＝3，并且m<sub>4</sub>表示1至3的整数。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||