一种重载精密减振器及其构成的减振系统

摘要

本发明属于精密减振技术领域，为一种重载精密减振器及其构成的减振系统。减振器包括阻尼可变的低刚度空气弹簧、低水平刚度的倒立摆机构和一组三自由度主动减振执行器。空气弹簧为由节流孔连通的内外环形双气室结构；倒立摆机构由主支承杆和两根以上的柔性摆杆组成，置于环形气腔内；主动减振执行器由三个正交布置的直线电机构成。重载精密减振器通过空气弹簧产生垂向大承载力，通过空气弹簧和倒立摆机构分别隔离垂向和水平向的振动传递，通过垂向和水平向直线电机作用力进行主动控制衰减振动。减振系统由三个以上的精密重载减振器呈多边形布置构成，通过各精密重载减振器的共同作用实现被隔振设备的六自由度精密减振。

主权项

一种重载精密减振器，其特征在于：它包括空气弹簧(10)，倒立摆机构(20)，主动减振执行器(30)；空气弹簧(10)为内气室(11)、外气室(12)构成的环形双气室密封结构，内气室(11)与外气室(12)之间由节流孔(14)连通，外气室(12)上设有进气孔(13)；倒立摆机构(20)包括主支承杆和至少两根柔性摆杆，主支承杆和各柔性摆杆均由内气室(11)的内腔包围；主动减振执行器包括垂向直线电机(302)和二个水平向直线电机(303、304)，三个直线电机正交布置，其定子均固定在外部端盖上，其动子均与顶部接口盘或被隔振设备固定连接。