用于移动以矩形结构排列的电子元件的方法和设备

摘要

本发明涉及一种用于在扁平搬运器上放置以矩形结构排列的电子元件的方法和设备，包括拾取大量的以矩阵结构排列的元件；以及将元件放置在扁平搬运器上，其中，在元件被拾取之后首先放置在安置台上，接着放置在安置台上的元件在被放置到扁平搬运器之前被再次拾取。这应用于半导体的制造中，如需要在不同的处理站处理并且在这些处理站之间传输。然而，处理站经常需要传输批量的电子元件，这些电子元件以矩形机构排列，在进一步传输时，数量不准确且间距或方向不准确。本发明使元件的数量，间距或方向通过将电子元件组在两个步骤内放置来改变。

主权项

一种用于在扁平搬运器上放置以矩阵结构排列的电子元件的方法，包括以下的步骤：拾取大量的以矩阵结构排列的元件；以及将元件放置在扁平搬运器上，其特征在于，首先在第一传输操作过程中：元件被拾取之后，将元件放置在安置台上，接着在第二传输操作过程中将放置在安置台上的元件放置到扁平搬运器之前，将元件再次地拾取，并且在所述第一传输操作过程中，在第一方向上改变元件之间的相互距离，以及在所述第二传输操作过程中，在第二方向上改变元件之间的相互距离，所述第二方向垂直于所述第一方向。