一种大尺寸高熔点晶体生长的加热装置及其制作方法

摘要

本发明是一种大尺寸高熔点晶体生长的加热装置及其制作方法。它是钨制密集排布圆筐鸟笼式加热结构，包括若干组弯曲小钨棒，通过长钨带将所有小钨棒相互连接在一起形成一串联电路，同一组间由若干根钨棒等间距排列组成，并且相同组会对称性分布在围成的圆筐上，不同组间钨棒设置有高低层次，异面相互交错分布。为克服现有技术中温度场不均匀，加热效率低，不宜控制加热速度和温度场精度，难以满足大尺寸晶体生长系统要求等相关问题，本发明设计了一种独特的钨制密集排布圆筐鸟笼式加热结构，电流在不同区域通过不同长度的电阻丝，有利于获得上低下高、低两侧高型的温场分布，并且能够很好保证生长过程中的小温度梯度要求。

主权项

一种大尺寸高熔点晶体生长的加热装置，其特征在于它是钨制密集排布圆筐鸟笼式加热结构，包括若干组弯曲小钨棒，通过长钨带将所有小钨棒相互连接在一起形成一串联电路，同一组间由若干根钨棒等间距排列组成，并且相同组会对称性分布在围成的圆筐上，不同组间钨棒设置有高低层次，异面相互交错分布；将所有弯曲小钨棒的两端铸入黄铜环中，再采用焊接或铆接的方式在钨棒组垂直段的上下通过几组长钨带和细钨丝将其相互连接在一起，这样加热体的上部通过铜环与铜环上方的两加热电极连在一起。