狭缝喷嘴的横向喷射均匀度测量装置及方法

摘要

本发明涉及测量基板涂敷装置(Substrate Coating Apparatus)的狭缝喷嘴(Slit Nozzle)所喷出的光刻胶的横向喷射均匀度的装置及方法。依据本发明所提供的狭缝喷嘴的横向喷射均匀度测量装置包含具有与所述狭缝喷嘴的喷出口相对的检测面的多个流体压力测量单元，所述流体压力测量单元沿所述狭缝喷嘴的横向并排。

主权项

一种喷射均匀度测量装置，用于测量狭缝喷嘴的喷射均匀度，其特征在于包含：沿所述狭缝喷嘴的横向并排的多个流体压力测量单元，该流体压力测量单元具有压电元件以及与所述狭缝喷嘴的喷出口相对的流体压力检测面，并测量所述喷出口所喷出的水或气体的喷射压力；控制单元，该控制单元计量施加在所述流体压力测量单元上的喷射压力而算出均匀度，并进行显示，所述流体压力测量单元的检测面的前后方向的宽度大于所述狭缝喷嘴的喷出口的距离，对所述流体压力测量单元进行表面处理以使其对喷射流体具有疏水性，在所述流体压力测量单元的检测面与前方表面之间或者所述流体压力测量单元的检测面与后方表面之间形成倾斜面。