在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置及内表面覆膜容器的制造方法

摘要

本发明提供一种在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置，具有多个成膜室(21)，其经过排气管(11)与旋转式真空密封机构(1)连通，用于在PET瓶(B)的内表面形成覆膜，所述排气管由导电材料构成，在其内部的预期位置配置有通气性且具有导电性的电场屏蔽部件、即蜂窝形导体(39)，且所述成膜室具有：外部电极(27)，具有在插入容器时包围该容器的大小的空洞；导电性的室盖部件(32)，经由绝缘部件(31)安装在所述容器的口部所处一侧的所述外部电极的端面上，与排气管连接并且接地；气体吹出部件(34)，从室盖部件侧插入到外部电极(27)内的所述容器内，用于吹出覆膜生成气体；和作为电场施加单元的高频电源(35)，用于在外部电极与接地的室盖部件及排气管之间施加电场。

主权项

一种内表面覆膜容器的制造装置，其特征在于，具有用于在作为被处理物的容器的内表面通过等离子体放电形成覆膜的成膜室，所述成膜室具有：外部电极，具有在插入所述容器时包围该容器的大小的空洞；导电性的室盖部件，经由绝缘部件安装在所述容器的口部所处一侧的所述外部电极的端面上，与排气管连接并且接地；气体吹出部件，从所述室盖部件侧插入到所述外部电极内的所述容器内，用于吹出覆膜生成气体；和电场施加单元，用于在所述外部电极与接地的所述室盖部件及排气管之间施加电场，所述排气管由导电材料构成，在从所述成膜室离开预期距离的内部配置有通气性且具有导电性的电场屏蔽部件，将收纳所述容器的所述外部电极内表面的面积设为S1、接地电极的面积设为S2时，所述预期距离设定为使二者的面积比S2/S1为1以上，其中，所述接地电极由所述室盖部件、所述由导电材料构成的排气管及所述电场屏蔽部件构成。