发明名称 |
显示面板及其方法 |
摘要 |
本发明提供一种显示面板及其方法,此方法包含提供基板;形成晶体管元件于基板上,其中晶体管元件自基板依序包含栅极层、栅极介电层、包含源极/漏极扩散区及通道区于其间的半导体层、源极/漏极电极、绝缘层以及透明电极;形成凹凸状结构于基板上,且与晶体管元件相邻,其中凹凸状结构是在晶体管元件的源极/漏极电极形成前,通过选自形成栅极层、栅极介电层、以及半导体层的工艺所形成;以及形成电容元件于凹凸状结构,其中电容元件与凹凸状结构共形,且电容元件通过形成源极/漏极电极、绝缘层以及透明电极的工艺所形成。 |
申请公布号 |
CN101236933B |
申请公布日期 |
2010.12.01 |
申请号 |
CN200810082384.0 |
申请日期 |
2008.03.04 |
申请人 |
友达光电股份有限公司 |
发明人 |
林祥麟;方国龙;林敬桓 |
分类号 |
H01L21/84(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;G02F1/136(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/84(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
任默闻 |
主权项 |
一种形成显示面板的方法,其特征在于,所述方法包含: 提供基板; 形成晶体管元件于所述基板上,其中所述晶体管元件自所述基板依序包含栅极层、栅极介电层、半导体层、源极/漏极电极、绝缘层以及透明电极; 形成凹凸状结构于所述基板上,且与所述晶体管元件相邻,其中所述凹凸状结构是在所述晶体管元件的所述源极/漏极电极形成前,通过选自形成所述栅极层、所述栅极介电层、以及所述半导体层的工艺所形成;以及 形成电容元件于所述凹凸状结构,其中所述电容元件与所述凹凸状结构共形,且所述电容元件是通过形成所述源极/漏极电极、所述绝缘层以及所述透明电极的工艺所形成。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |