用于电化学加工的电极

摘要

揭示了一种用于电化学加工的电极，它包括位于电极表面上的介电层，以及包含嵌埋在所述电极表面下的金属的有源层，其中所述电极设计成通过电化学加工法在工件上形成凹槽图案。所述电极能够制造包括用于流体动力学轴承的凹槽图案的工件，例如相对板，套管轴颈或锥形轴承，所述凹槽图案的节距小于80微米。所述电极可通过包括以下步骤的方法制造：在金属表面上沉积介电层，在介电层上沉积光刻胶层，在所述光刻胶层上印刷凹槽图案，通过蚀刻或物理-化学方法除去所述介电光刻胶层的一些部分，从而在所述介电层中形成凹槽；除去光刻胶层；以及用金属填充所述凹槽，以制备电极。

主权项

一种电极，它包括形成电极表面的介电层、以及包括嵌埋在所述电极表面下的金属的有源区，其中，所述介电层包括凹槽图案，所述凹槽图案包含从电极表面延伸到有源区上表面的凹槽，其中凹槽图案所包含的凹槽的特征宽度等于或小于25微米，且其中，所述凹槽具有V形结构，该V形结构在介电层中的有源区处具有宽的开口，在电极表面具有窄的开口。