从基材上除去材料的方法

摘要

从基材(18)除去材料优选光致抗蚀剂的方法包括：以有效基本上均匀涂覆该材料涂覆的基材的量将包含硫酸和/或其干燥物质和前体并具有不大于5∶1的水/硫酸摩尔比的液体硫酸组合物散布到该材料涂覆的基材上。优选地，在该液体硫酸组合物的散布之前、期间或之后，将基材加热到至少大约90℃的温度。在该基材处于至少大约90℃的温度下后，将该液体硫酸组合物暴露到水蒸气中，该水蒸气的量有效将该液体硫酸组合物的温度增加到大于该液体硫酸组合物在暴露到该水蒸气中之前的温度。然后优选冲洗该基材以除去该材料。

主权项

改变来自三个孔喷嘴的液体喷射方向的方法，包括以下步骤：a)提供喷嘴，其具有i)备有来自液体源的液体的第一孔，其在足够压力下从其喷射液体流；ii)备有来自气体源的气体的第一气孔，以调节的压力提供该气体以从该第一气孔喷射气体流以使该液体流至少部分地偏斜；iii)备有来自第二气体源的第二气体的第二气孔，以调节的压力提供气体以从第二气孔喷射气体流以使该液体流至少部分地偏斜；和b)通过改变第一气孔和第二气孔至少之一的气流流量调节液体从喷嘴的喷射方向以为来自中心孔的液体流赋予方向。