发明名称 形状测定装置用探头及形状测定装置
摘要 本发明提供一种形状测定装置以及设置在该形状测定装置上的形状测定装置用探头,该形状测定装置能够在不采用复杂的装置结构的情况下,不论侧面的倾斜方向如何都可进行形状测定。在形状测定装置用探头中,连接安装用部件(2)和摆动部件(3)的连接机构(4)具有设置在摆动部件(3)上的支点部件(42)和设置在安装用部件(2)上的载置台(41),且将摆动部件(3)连接成相对于安装用部件(2)可向任意方向倾斜。安装用部件(2)和摆动部件(3)被构成为:设置在摆动部件(3)上的可动侧部件(51)和设置在安装用部件(2)上的固定侧部件(52)彼此在非接触状态下发生磁性吸引力,该磁性吸引力以摆动部件(3)的探杆向铅直方向的方式进行施力。根据该结构,能够测定与Z方向大致平行、向X、Y方向的任意方向倾斜的侧面形状。
申请公布号 CN101322005B 申请公布日期 2010.12.01
申请号 CN200780000443.9 申请日期 2007.05.08
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 舟桥隆宪;吉住惠一
分类号 G01B5/016(2006.01)I;G01B5/20(2006.01)I 主分类号 G01B5/016(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汪惠民
主权项 一种形状测定装置用探头,具备:测定面接触部,其具有探杆和配置在所述探杆顶端并与测定物的被测定面接触的触针;安装用部件,其将所述测定面接触部安装在形状测定装置上;连接机构,其具备设置在所述测定面接触部的支点部件和固定在所述安装用部件上并载置所述支点部件的载置台,该连接机构以所述支点部件为支点连接所述测定面接触部和安装用部件,并确保所述测定面接触部和所述安装用部件可摆动;以及施力机构,其具有设置于所述测定面接触部的可动侧部件和设置于所述安装用部件的固定侧部件,所述可动侧部件和固定侧部件彼此在铅直方向上相对配置,并在非接触状态下产生磁性吸引力,利用该磁性吸引力对所述测定面接触部施力,使所述探杆向铅直方向。
地址 日本大阪府