用于蚀刻终点检测的方法和设备

摘要

一般地说，本发明提供了一种用于监测等离子体光辐射的手段。具体地说，本发明提供了通过可变开口监测等离子体光辐射来检测出等离子体蚀刻工序终点的方法，该方法不具有可能导致伪终点呼叫的扰动。该方法包括通过由可移动构件界定的开口从等离子体收集光辐射数据。上述可移动构件能改变上述开口的配置。该方法还在特定时间内将上述可移动构件保持在固定状态。该方法还包含在将上述可移动构件保持固定的同时检测等离子体光辐射中的特定扰动之操作。

主权项

一种监测等离子体光辐射的方法，包括：通过可移动构件界定的开口收集等离子体的光辐射数据，其中，所述可移动构件能改变所述开口的配置，所述可移动构件是设在等离子体蚀刻室内的约束环；在等离子体蚀刻工序的预计终点前的预定时间段将可移动构件保持固定，其中，所述保持固定使所述开口维持固定的配置状态；以及在将可移动构件保持固定的同时，检测等离子体光辐射中的特定扰动，所述特定扰动指示等离子体蚀刻工序的终点。