发明名称 |
光蚀刻用清洗液及抗蚀图案的形成方法 |
摘要 |
本发明提供一种新颖的光蚀刻用清洗液,该清洗液对抗蚀图案而言,是为了减少制品的表面缺陷的所谓瑕疵、防止水冲洗时的图案破坏的发生、又赋予抗蚀剂对电子射线照射的耐受性、抑制图案的收缩而使用的,且在储存中又不会发生因细菌造成的污染。该光蚀刻用清洗液,包括含有下述通式(式中的R<sup>1</sup>为可被氧原子中断的碳原子数8~20的烷基或羟烷基;R<sup>2</sup>及R<sup>3</sup>为碳数1~5的烷基或羟烷基)所示的含氧化胺化合物的水性溶液。[化学式1]<img file="200580042542.4_ab_0.GIF" wi="102" he="99" /> |
申请公布号 |
CN101076759B |
申请公布日期 |
2010.12.01 |
申请号 |
CN200580042542.4 |
申请日期 |
2005.11.29 |
申请人 |
东京应化工业株式会社 |
发明人 |
泽田佳宏;胁屋和正;越山淳;宫本敦史;田岛秀和 |
分类号 |
G03F7/32(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/32(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
张平元;赵仁临 |
主权项 |
1.一种包含水性溶液的液体在光蚀刻中作为清洗液的用途,所述水性溶液含有至少一种下述通式所示的氧化胺化合物:[化学式1]<img file="FSB00000076232700011.GIF" wi="761" he="286" />式中的R<sup>1</sup>为可被氧原子中断的碳原子数8~20的烷基或羟烷基;R<sup>2</sup>及R<sup>3</sup>为碳原子数1~5的烷基或羟烷基。 |
地址 |
日本神奈川县 |