发明名称 研磨状态评估方法
摘要 本发明的研磨状态评估方法包括以下步骤:(a)检索振动信号;(b)计算所述振动信号的反频谱,所述反频谱具有多个反谐波;(c)移除所述反谐波的低反频率部分;(d)根据振幅阈值移除所述反谐波的能量低于所述振幅阈值部分;(e)根据设定反谐波计算数目的反谐波和所述反谐波的设定间隔,计算反频谱波信号;以及(f)根据所述反频谱波信号评估所述研磨状态。借此,本发明可准确地计算出研磨装置的研磨转速、简化研磨颤振监测系统并减少感测器(转速计)数量、布线和线路维护成本,且可评估所述研磨装置是否接触所述工件。
申请公布号 CN101898319A 申请公布日期 2010.12.01
申请号 CN200910143049.1 申请日期 2009.05.25
申请人 中国钢铁股份有限公司 发明人 吴崇勇
分类号 B24B5/37(2006.01)I 主分类号 B24B5/37(2006.01)I
代理机构 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人 孟锐
主权项 一种研磨状态评估方法,其用以评估研磨装置研磨工件时的研磨状态,所述研磨状态评估方法包括以下步骤:(a)检索振动信号;(b)计算所述振动信号的反频谱,所述反频谱具有多个反谐波;(c)移除所述反谐波的低反频率部分;(d)根据振幅阈值移除所述反谐波的能量低于所述振幅阈值部分;(e)根据设定反谐波计算数目的反谐波和所述反谐波的设定间隔,计算反频谱波信号;以及(f)根据所述反频谱波信号评估所述研磨状态。
地址 中国台湾高雄