| 发明名称 | 液体材料气化装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种液体材料气化装置，目的在于不改变喷嘴形状就能使载体气体(CG)的流量增大，所述液体材料气化装置包括：气液混合室(1)，将液体材料(LM)以及载体气体(CG)混合；液体材料导入通道(2)，将所述液体材料(LM)导入气液混合室(1)；载体气体导入通道3，将载体气体(CG)导入气液混合室(1)；气化喷嘴部(4)，与气液混合室(1)连通，使由液体材料(LM)及载体气体(CG)构成的混合体减压气化；混合气体导出通道(5)，与气化喷嘴部(4)连通，将通过气化喷嘴部(4)气化的混合气体(MG)导出；以及旁路通道(6)，将载体气体导入通道(3)与混合气体导出通道(5)连通，且使载体气体(CG)从载体气体导入通道(3)向混合气体导出通道(5)流动。 | ||
| 申请公布号 | CN101903561A | 申请公布日期 | 2010.12.01 |
| 申请号 | CN200880121722.5 | 申请日期 | 2008.12.05 |
| 申请人 | 株式会社堀场STEC | 发明人 | 宫本英显;西川一朗 |
| 分类号 | C23C16/448(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/448(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 李雪春;武玉琴 |
| 主权项 | 一种液体材料气化装置，包括：气液混合部，将液体材料与载体气体混合；液体材料导入通道，将所述液体材料导入所述气液混合部；载体气体导入通道，将所述载体气体导入所述气液混合部；气化喷嘴部，与所述气液混合部连通，使由所述液体材料及所述载体气体构成的混合体减压气化；混合气体导出通道，与所述气化喷嘴部连通，将通过所述气化喷嘴部气化的混合气体导出；以及旁路通道，将所述载体气体导入通道与所述混合气体导出通道连通，且使所述载体气体从所述载体气体导入通道向所述混合气体导出通道流动。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||